Ultra High Vacuum Mechanical Booster Ponp
Ultra High Vacuum (UHV) Mechanical Booster Pumps (Roots Booster Pumps) ogmante debi gaz nan sistèm vakyòm presyon ba -kote gwo kapasite ponpe ak tan rapid ponp-desann.
Opere ansanm ak yon ponp sipò konpatib (tankou yon ponp vakyòm sèk oswa ponp rotary vane), rapèl la itilize aksyon mekanik deplasman pozitif -pou transfere gaz soti nan bò chanm lan nan etap la fè bak. Sa a siyifikativman ogmante vitès ponpe efikas nan ranje presyon vakyòm mwayen ak ultra-segondè.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Spesifikasyon / Egzijans Seleksyon |
Konsiderasyon Jeni |
|
Kalite pwodwi |
Ponp rapèl mekanik UHV (prensip rasin) |
Pozitif -deplasman segondè-debiman rapèl |
|
Estanda bride |
ISO-K / ISO-F, CF bride, oswa Custom |
Chwazi ki baze sou konduktivite ak entegrite sele UHV |
|
Ponpe vitès Range |
Modèl-depandan (Al gade nan koub pèfòmans) |
Yo dwe kalkile ansanm ak konduktivite liy sistèm |
|
Fonksyone presyon |
Mwayen Vacuum pou Ultra High Vacuum (UHV) |
Gouvène pa total ponpe tren ak degazasyon chanm |
|
Fè bak Ponp Matching |
Ponp sèk, Rotary Vane, oswa Rotary Piston |
Kapasite fè bak dwe matche ak koule egzeyat rapèl |
|
Max Presyon diferans |
Modèl -limit espesifik presyon admisib (Delta P max) |
Anpeche surcharge tèmik ak souch mekanik |
|
Vacuum-Materyèl Bòt yo |
Nerjaveèi asye, alyaj trete, penti espesyal |
Ba pousantaj degassaj ak rezistans chimik |
|
Konfigirasyon sele |
Elastomè (FKM/FFKM) oswa sele metal (CF) |
Chwazi ki baze sou pousantaj koule elyòm ak limit bakeout |
|
To flit elyòm |
Jiska 1 x 10^-10 mbar L/s |
Verifye atravè detektè koule mas spectrometer |
Gid Seleksyon & Entegrasyon
Pou chwazi ponp rapèl Roots ki kòrèk la epi asire entegrasyon lis nan sistèm vakyòm ou a, evalye pwen fonksyònman sa yo:
Vitès ponpe ak presyon sib:Kalkile vitès ponpe efikas obligatwa nan inlet chanm lan, pran an kont konduktivite tiyo.
Chaj gaz ak medya pwosesis:Idantifye konpozisyon gaz pwosesis, pwopriyete korozif, patikil pousyè, ak pousantaj degazage materyèl.
Aparèy ponp konpatibilite:Asire ponp lan apiye okipe volim egzeyat la san yo pa depase presyon diferans maksimòm akseptab (Delta P max).
Tèmik ak sistèm verrouillage:Konfigure switch presyon, kondui frekans varyab (VFD), ak refwadisman anklanche pou evite surcharge mekanik pandan faz degrossaj.
Aplikasyon tipik
Semiconductor ak Elektwonik:Evakyasyon ak manyen gaz pwosesis pou zouti sipò etch, CVD, ak litografi ki bezwen kontaminasyon ki ba.
Mens-Depozisyon fim ak kouch:Kenbe presyon opere ki estab pandan gwo-debi PVD, sputtering, ak pwosesis kouch optik.
Laboratwa rechèch:Pèfòmans vakyòm segondè -fyab pou fizik patikil, syans sifas, ak chanm simulation espas.
Vacuum founo & Processing:Efikasman jere chay gaz lou pandan degaze -tanperati wo, brasaj vakyòm, ak tretman chalè.
Kontwòl Kalite ak Dokimantasyon
Fyab UHV mande pou estanda fabrikasyon ak verifikasyon strik:
Pwosesis sal pwòp:Netwayaj ultrasons milti-etap, degrese sòlvan, ak anbalaj pousyè -gratis pou asire ke degazasyon ba.
Tès presizyon:Balanse rotor dinamik, verifikasyon dimansyon, ak espektwomèt mas tès elyòm koule.
Dokiman livrables:Modèl -koub vitès ponpe espesifik, desen CAD/STEP, karakteristik elektrik motè, sètifikasyon materyèl, ak rapò tès koule.
FAQ
K: Ki fonksyon prensipal yon Ponp Booster Mechanical Ultra High Vacuum?
A: Yon Ponp Booster Mechanical Ultra High Vacuum ogmante vitès ponpe efikas ak debi gaz nan sistèm vakyòm presyon ba -. Li transfere gaz soti nan chanm vakyòm nan nan direksyon yon ponp fè bak, sa ki pèmèt evakyasyon rapid ak pi wo pèfòmans ultim presyon.
K: Èske yon ponp rapèl mekanik Roots ka fonksyone poukont san yon ponp apiye?
A: Non. Yon ponp rapèl mekanik mande pou yon ponp sipò apwopriye (tankou yon ponp sèk oswa ponp rotary vane) pou dechaje gaz nan presyon atmosferik.
K: Poukisa mwen ta dwe evite chwazi yon ponp rapèl ki baze sèlman sou vitès ponpe nominal?
A: Vitès ponpe nominal la reprezante deplasman ideyal san yo pa konsidere pèt sistèm reyèl-monn nan. Pèfòmans aktyèl depann de konduktivite liy vakyòm-, kapasite ponp sipò, presyon opere, ak chaj gaz chanm lan.
K: Kouman pou mwen anpeche surcharge tèmik pandan operasyon ponp rapèl?
A: Surcharge tèmik anpeche lè w kenbe presyon opere nan limit diferans akseptab (Delta P max). Sèvi ak yon valv soulajman presyon, yon kondui frekans varyab (VFD), oswa yon switch presyon pou kontwole demaraj rapèl -leve pwoteje ponp lan kont chaj gaz twòp.
K: Ki prekosyon pou pwòpte UHV yo pran pandan fabrikasyon?
A: Pou sèvis UHV, vakyòm-konpozan bò sibi pwosesis netwayaj espesyalize, tankou degrese ultrasons, pou elimine rezidi idrokarbone.
Baj popilè: ultra wo vakyòm mekanik rapèl ponp, Lachin ultra segondè vakyòm mekanik rapèl ponp manifaktirè, Swèd, faktori
