Kounye a, materyèl prepare pateknoloji depo chimik vapèyo pa sèlman yo itilize nan koupe materyèl zouti, mete ki reziste, chalè ki reziste, materyèl korozyon ki reziste, materyèl espesyal konpoze nan endistri ayewospasyal, materyèl raktor atomik, ak materyèl byomedikal, men tou, lajman ki itilize nan preparasyon an ak sentèz divès kalite poud. materyèl, materyèl esansyèl, nouvo materyèl kristal, fib seramik, ak fim dyaman. Nan jaden an nan teknoloji preparasyon fim mens pou materyèl feroelektrik, materyèl izolasyon, materyèl mayetik, ak materyèl optoelectronic kòm gwo-echèl teknoloji sikwi entegre, li se menm plis endispansab.
Prensip deTeknoloji CVD
Teknoloji CVD se pwosesis pou entwodwi vapè ki gen reyaktif gaz oswa likid ki fòme eleman fim mens ak lòt gaz ki nesesè pou reyaksyon an nan yon chanm reyaksyon, sa ki lakòz yon reyaksyon chimik sou sifas substra a, epi depoze pwodwi solid sou sifas la pou fòme. yon fim mens.
Li gen ladann kat etap prensipal yo:
① Gaz reyaksyon an gaye nan direksyon sifas materyèl la;
② Gaz reyaktif la adsorbe sou sifas materyèl la;
③ Reyaksyon chimik yo rive sou sifas materyèl yo;
④ Sou-pwodwi gaz detache nan sifas materyèl la.
Karakteristik teknoloji CVD
Kouch fim ki te fòme pa teknoloji CVD se dans ak inifòm, ak yon lyen solid ant kouch fim nan ak substra a, fasil kontwòl nan konpozisyon fim nan, vitès depo vit, ak bon jan kalite fim ki estab. Gen kèk kouch fim espesyal tou ki gen ekselan pwopriyete optik, tèmik ak elektrik, ki fè yo fasil reyalize pwodiksyon an mas. Sepandan, tanperati a depo nan CVD anjeneral trè wo, ant 900 degre ak 2000 degre, sa ki ka fasilman lakòz deformation nan pati yo ak chanjman nan mikrostruktur, kidonk diminye pwopriyete yo mekanik nan materyèl la kò ak febli fòs la lyezon ant materyèl la kò ak. kouch la, limite seleksyon an nan substrats, kouch depo, oswa bon jan kalite a nan materyo an ki kapab lakòz. Kounye a, teknoloji CVD ap devlope nan direksyon de direksyon: tanperati mwayen ak ba ak vakyòm segondè, epi li konbine avèk plasma, lazè, ultrason ak lòt teknoloji pou fòme anpil nouvo teknoloji CVD.
